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薬液流量センサ(液体 検出) - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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マクミラン 超高純度用 薬液流量センサ Model U709

モデルU709は腐食性の液体を7mL/minの低流量から1000mL/minまでの、間欠運転、連続運転を精度良く計測出来ます。

モデルU709シリーズは、腐食性の液体を7mL/minの低流量から?1000mL/minの流量まで5種類の測定レンジによりにカバーする流量センサです。 間欠運転または、連続運転の液体を精度良く測定できる流量センサです。ポンプ吐出時間500msec、吐出量1mLからの液体を検出できます。 接液部の材質はテフロン、カルレッツ、サファイアで構成されています。センサ部は、ペルトン型のマイクロタービンホイール(特許)を採用することにより、ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっています。パーティクル発生がなく、優れた再現性を実現し、腐食性のある化学薬品や溶剤の長期に渡る正確な計測が可能となります。圧力接続はフレアータイプの継手を採用し簡単に接続でき、流体がネジ部に入り込まないよう考慮されています。電気接続には1.8mのケーブルが付属しています。電源や出力はいくつかのオプションから選択できるので、各種の使用用途に合わせて利用できます。

  • その他半導体製造装置
  • センサ

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